洁净厂房空调系统耗能高的几大因素

　　洁净度的提高和维持是半导体器件洁净厂房空调系统设计和运行的重要任务，这一任务的完成要依赖很高的送风量，是以高能耗为代价的。就送风量而言一般办公大楼换气次数为10h“左右，而大规模半导件器件洁净厂房内，为了满足相应的洁净度要求，需要保证很高的换气次数，致使循环风量非常大。100级洁净室的换气次数可选到4001，10000级洁净室的换气次数日选到40h1，1000级洁净室的换气次数也要30h1。导致洁净厂房空调系统耗能高的原因主要取决与几大因素：

　　新风负荷大，在电子厂房中，某些车间散发出有害气体，需要通过排风加以消除，这就加大了系统的新风量。洁净室的各类制冷负荷中，最重要的有新风、风机温升和设备散热3项，而尤以新风最大。根据有关部门统计，新风负荷可以从20%~70%，风机温升从8%~20%多，工艺设备可以从16%~50%。洁净室内平均所需新风量在45~60m㎡/(m.n㎡)，新风冷负荷比室内显热冷负荷还要大约近1倍。

　　风机全压高，由于净化空调中过滤器很多，其中仅高效过滤器的初阻力就在200Pa以上，终阻力在400Pa以上：而要求高的车间ULPA的阻力会更大。其新风要求三级过滤，再加上化学过滤器，新风机组的风压要求在2500Pa左右。这些都会致使所用风机静压很高，导致风机耗能增加。